微传感器
作者来源:admin 发表时间：2025-06-30
导读：
微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
分类
微传感器的分类：
根据是否有能源供应，可以分为有源微传感器（例如：压电）和无源微传感器（例如：荧光）
根据微传感器所能测量的对象不同，还可以分为如下九类：
机械微传感器：用于力、形变、位移和速度等测量的微传感器。
化学微传感器：用于成分、浓度、湿度和PH值等测量的微传感器。
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